GEMET

Search from vocabulary

Content language

Concept information

Технология > Плазмена технология

Preferred term

Плазмена технология  

Definition

  • 1) Термин за поредица промишлени приложения на плазмата като: ецване на полупроводникови чипове, разпадане на силиций за производство на слънчеви батерии, разлагане на силициев двуокис (диоксид), пасивиране (създаване на защитен слой) на повърхности и др.

Broader concept

Belongs to group

Belongs to array

In other languages

URI

http://www.eionet.europa.eu/gemet/concept/6327

Download this concept:

RDF/XML TURTLE JSON-LD Created 9/8/04, last modified 9/8/04